半导体用设备

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双室式Autoclave
可以一次同时进行两个不同实验

모델명    :   IR-DPC-600
제품특징    :   可以一次同时进行两个不同实验

产品规格 (Specification)

型号 IR-DPC-600 (Dual Chamber)
加热方式 对流加热
规格
(长x宽x高 ,mm)
内部尺寸 W440 × D390 × H550
外部尺寸 W1500 × D2180 × H1900
内部材质(处理腔) SUS304抛光
温度控制方式 利用PLC的可编程PID控制
热电偶式 K-Type型
温度均匀性 设置温度:±3℃ (建议使用温度230℃)
内部工作室压力 16 kgf/㎠ (Max 22 kgf/㎠)
加压方式 由CDA&Booster提供
压力控制 增加/减少 阀门(部分)控制
加热器 护套加热器
空气循环方式 多叶热风扇+电机
电机轴密封方式 磁性驱动器密封