中型Autoclave
半导体工程用
모델명
: IR-PC-700
제품특징 : 半导体工程用
제품특징 : 半导体工程用
产品规格 (Specification)
型号 | PO-700 | |
---|---|---|
加热方式 | 对流加热 | |
规格(长x宽x高 ,mm) | 内部尺寸 | W560 × D650 × H405 |
外部尺寸 | W1400 × D2060 × H1590 | |
内部材质(处理腔) | SUS304抛光 | |
温度控制方式 | 利用PLC的可编程PID控制 | |
热电偶式 | K-Type型 | |
温度均匀性 | 设置温度:±3℃ (建议使用温度230℃) | |
内部工作室压力 | 16 kgf/㎠ (Max 22 kgf/㎠) | |
加压方式 | 由CDA&Booster提供 | |
压力控制 | 增加/减少 阀门(部分)控制 | |
加热器 | 护套加热器 | |
护套加热器 | 多叶热风扇+电机 | |
电机轴密封方式 | 磁性驱动器密封 |
Youtube Link : https://youtu.be/hJF5WPdQZM8