반도체용 장비

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클린오븐
CO-512L

모델명    :   CO-512L
제품특징    :   신속한 포자 기구 또는 시료의 건조가 필요한 경우,

¶ 제품특징(Features)

  • Desk 타입으로 비교적 작은 수용공간을, Vertical 타입은 비교적 큰 수용공간을 필요로 함.
  • 모든 건조기의 내통은 고품질의 Mirror stainless steel sheet로 만들어졌으며, 외부는 baking 광택처리가 되어 있음.
  • PID Auto-tuning controller
    주변 환경에 맞게 PID 값을 찾아 정확한 온도 제어 가능 Digital LED or LCD(Option).
  • 일정한 온도에서 필요한 시간을 설정해서 최적 요건으로 건조할 수 있음.
  • 완충도어 사용으로 밀착성이 우수하며, 부드러운 문열림과 닫힘으로 Chamber 내부에 있는 시료에 흔들림을 방지.
  • 과압 발생 시 안전밸브 자동 동작뿐 아니라 과열 온도 차단 기능(Over Temperature Limiter)이 탑재 되어 있음.

¶ 제품사양 (Specification) 


Chamber Volume (ℓ)

 512 

Temperature

 Range 

 50℃ ~ 200℃ (주 사용온도 :120℃)

 Accuracy

 ±1℃ at 120℃

 Uniformity

 ±3℃ at 120℃

 Heat-up Time

 120℃ within 120 mins

 Controller

 Digital PID Touch Panel Type 

Material

 Chamber 

 SUS304

 Body

 SS40, 1.2T

 Sensor

 K-type

 Insulation

 Cerak Wool (50mm)

 Door Gasket

 Heat Resistant Silicone Rubber

 Hepa Filter

 Class 1000

 (99.97% 입자크기 0.3의 집진효과 확보)

 0.4m/sec ±20%

Heater

 Heating Type 

 SUS Pipe Pin Heater

 Capacity

 10kw

Size ( W x D x H, mm)

 Internal 

 800 x 800 x 800

 External

 1200 x 1200 x 1800

Power Consumption

 220V 3P, 50/60Hz

Weight

 500kg

Warranty

 1 year