가압장비

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Autoclave (일반형)
반도체 공정용

모델명   :   IR-PC-700
제품특징   :   반도체 공정용

제품특징 (Feature)

  • LCD, 전지, 휴대폰 필름, 액정 등의 AGING, 기포제거 및 CRACK 확인 등과 같이 전자부품 산업에 반드시 필요한 생산 장비.
  • 특수 설계된 플렌지가 35bar(35)까지 가압할 수 있음. (압력 범위 조절 가능)
  • 고강도 패킹 구조로 진공과 압력유지에 탁월함.
  • 정확하고 정밀한 압력 및 온도 제어를 바탕으로 승온 및 가압하여 반도체 패키징, LCD등의 Aging 및 기포제거에 꼭 필요한 생산 장비.
  • PID Auto-tuning controller
    주변 환경에 맞게 PID 값을 찾아 정확한 온도 제어 가능 Digital LED or LCD(Option)
  • Interlock system 인위적 혹은 자연적으로 과실이나 오 동작이 발생할 시, 더 이상 실험이 진행되지 않도록 안전장치 자체적으로 방어하는 기능
  • Fail safe 고장시 안전작동 기기에 이상이 발생하면 자동적으로 각종 부위에 공급되는 전원을 차단하고, 접지(Ground)부분만 연결되어 있는 상태로 대기. 이런 기능으로 하여금 위험 요소로부터 사용자의 안전성 강화.


제품사양 (Specification)

Model IR-PC-700
Heating Method Convection
Dimension
(mm)
Internal W560 × D650 × H405
External W1400 × D2060 × H1590
Process Chamber Material SUS304 Polishing
Temperature Control Method Programmable PID Control
Thermocouple Type K-Type
Temp Uniformity Set temp. ±3℃ at 60℃ (Design Temp : 230℃)
Chamber working pressure 16 kgf/㎠ (Max 22 kgf/㎠)
Pressurizing method Provided by CDA & Booster
Pressure Control Increase / Decrease: Valve (segments) control
Heater Sheath Pin Heater
Air circulating method Sirocco Fan + Motor
Motor Shaft Sealing Magnetic Driver Seal