진공장비

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대형진공오븐
Large-Type Vacuum Oven

모델명    :   VO-16000S
제품특징    :   디스플레이, 반도체, 2차전지 등의 제작에 필요한 부품이나 구성요소 제작시 수분이나 불순물 제거.

제품 특징 (Feature)

  • PID Auto-tuning controller
    주변 환경에 맞게 PID 값을 찾아 정확한 온도 제어 가능 Digital LED or LCD(Option).
  • High generation G8.5 TFT-LCD부품, OLED 구성품, 반도체 구성품, 필름 아노다이징 프로세스의 스페셜 부품등을 제조하는데 필요한 진공오븐.
  • 디스플레이, 반도체, 2차전지 등의 제작에 필요한 부품이나 구성요소를 제작 하는데 필요한 설비.
  • 부품에 포함되어있는 수분이나 불순물을 제거하는 목적.
  • 대형 장비의 안정성과 진공유지 보장.
  • 파트별로 제어 가능.

제품 사양 (Specification)

List

Description

Chamber Volume

16000L

Temperature

Range

60~150℃ (Max 120C)

Heat-up time

120℃ within 60 min

Controller

Digital PID Control

Vacuum

Gauge

Digital Vacuum Gauge

Reach Time

~ 5 x 10^4 torr within 20 min at empty

~ 1 x 10^4 torr within 50 min at empty

(There may be a difference from the actual result.)

Dry Pump

-Nominal/Operation Capacity: 3,517/3,000 m2/hr

-Ultimate/Operation Pressure: 0.0005/0.001Torr

-Booster : 380V 3P, 7.5kw

-Pump: 380V 3P, 18.5kw

-Booster Inverter Control / Discharger Silencer

-Noise Level : 82dB

-Chiller 10~15HP included

Material

Chamber

Stainless Steel 304

Body

Steel, 1.2t, Powder Coating

Sensor

K-Type

Insulation

Ceramic Wool

Door Gasket

Heat-Resistant Silicone (O-Ring Type)

Door Cooling

Will be operated by Chiller or more

Viewing Window

Temperature Safety Glass, 12t

Heater

100 kw

Cart

Needs to be mutually-confirmed with detailed design.

(Product Size: 3000 x 3500 x 45mm, 1Ton)

With a cart, total weight: Max 2 Ton

Size

(W x D x H) mm

Internal

4000 x 4500 x 1000

External

4600 x 5100 x 1500

(External dimension may change upon design)

Power Consumption

380V 3P, 150kW, 300A, 50/60Hz