​안녕하세요. (주)져스텍 기초기술연구소 강영욱연구원입니다.

열진공챔버 제작 문의 드립니다.

ywkang@justek.com 으로 회신 부탁드립니다.

1.    열진공챔버 제작

A.     Vacuum control system

                         i.         챔버 내부 유효크기 : 500mm(Φ) x 500mm(L)

                        ii.         Port 접속부 제공이 가능할 것

1.      상세사양 추후결정 ,  ex) D-sub or circular 커넥터 20pin용 3EA 이상

                       iii.         대기에서 1 X 10-6 torr

                       iv.         대기에서 1 X 10-6 torr 로의 강하 시간 (2시간 이하)

                        v.         Control system에서 챔버 내 압력 모니터링 및 제어 가능할 것

                       vi.         Control system에는 압력, 위험에 대한 알람기능 구비 할 것

                      vii.         Dry pump 및 Turbo Pump 사용

B.      Thermal control system

                         i.         온도범위 : -35도 ~ 80도

                        ii.         Cooling/heating rate : ±2°C/min 이상

                       iii.         Control system에서 챔버 내 온도 모니터링 및 제어 가능할 것

                       iv.         온도Cycle 제어 구현 가능 할 것 (제어 시스템 기능은 TBD)

                        v.         실시간 온도 모니터링 및 데이터 획득(녹화)이 가능할 것