열진공챔버 문의
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손민영 작성일 2024-04-19본문
열친공챔버 제작 관련 예산 견적 문의드립니다.
열진공챔버 제작
A. Vacuum control system
i. 챔버 내부 유효크기 : 500mm(Φ) x 500mm(L)
ii. Port 접속부 제공이 가능할 것
- 온도 범위 : -100 ~ 200도
1. 상세사양 추후결정 , ex) D-sub or circular 커넥터 20pin용 3EA 이상
iii. 대기에서 1 X 10-6 torr
iv. Control system에서 챔버 내 압력 모니터링 및 제어 가능할 것
v. Control system에는 압력, 위험에 대한 알람기능 구비 할 것
vi. 챔버 내 Cold plate 볼팅체결 & 온도 조절 가능하도록 할 것 (주변온도와 별개로)